场发射扫描电镜可向样品室充入多种气体，在低真空下仍能获得优于2nm的高分辨图像；可向样品室通入水蒸气，使含水、含油及不导样品可直接观察；可在样品室内对样品做加温、低温处理，对化学反应过程进行实时观测。该设备适用于纳米材料精细形貌的观察，可薛利高质量高分辨二次电子图像。该仪器配备的X射线能谱仪可对块状样品做定性及半定量分析。
场发射扫描电镜的成像原理：
来自扫描发生器的扫描信号分别送给电子光学系统的扫描线圈和显像管的扫描线圈，让电子束于显像管的阴极射束做同步扫描，是阴极射束在荧光屏上的照射点(称为像点)与电子束在样品上的照射点按时间顺序一一对应，样品上的物点在电子束作用下所产生的信号被检测器随时检出，经视频放大器放大后控制显像管阴极射束的强度使荧光屏上像点的亮度受试样上物点所产生的信号的大小的调制，从而得到与样品性质有关的图像。
场发射扫描电镜的优点：
(1)有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调；
(2)有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；
(3)试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪(EDS)装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
