SEM扫描ylzz总站是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成,应用于生物、医学、材料和化学等领域。
SEM扫描ylzz总站的结构组成:
1、电子光学系统
组成:电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。
作用:获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。
2、信号收集和显示系统
信号收集:二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器(波谱仪和能谱仪)
显示系统:显示屏有两个,一个用于观察,一个用于记录照相。
3、真空系统
组成:机械泵、扩散泵
作用:保证电子光学系统正常工作,提供高真空度,防止样品污染,保持灯丝寿命,防止极间放电。
4、电源系统
包括启动的各种电源,检测-放大系统电源,光电倍增管电源,真空系统和成像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。
SEM扫描ylzz总站从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。它的制造依据是电子与物质的相互作用。