高分辨率扫描电镜

产品介绍

Quattro SEM为具有环境真空功能的极灵活、多功能高分辨率扫描电镜，可以将成像和分析全面性能与环境模式（ESEM）相结合，使得样品研究得以在自然状态下进行。

Quattro SEM高分辨率扫描电镜参数：

发射源：高稳定型肖特基场发射电子枪

分辨率：

放大倍率：6 ~ 2,500,000×
加速电压范围：200V ~ 30kV
探针电流范围：1pA – 200nA，连续可调
X-Ray工作距离：10mm，EDS检出角35°
样品室：从左至右为340mm宽的大存储空间，样品室可拓展接口数量12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）

样品台和样品：

探测器系统：

同步检测多达四种信号，包括

样品室高真空二次电子探测器ETD
低真空二次电子探测器LVD
气体SED（GSED，用于环境扫描模式）
样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）
可用于样品导航的彩色光学相机Nav-Cam™

控制系统：
操作系统：64为GUI（Windows10）、键盘、光学鼠标
图像显示：24寸LCD显示器，WUXGA 1920×1200
定制化的图像用户界面，可同时激活多达4个视图
导航蒙太奇
软件支持Undo和Redo功能