由于扫描电镜显微镜的高分辨率和大焦深，使得它可以对各种化学物质进行非常详细的分析。它打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而，可以获得更高的分辨率，是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
在检查半导体和微电子器件时，需要灵活选择和使用操作参数(加速电压、样品倾斜、扫描线时间等)以及正确的分析程序，以获得最大的信息。QFN器件中由湿热环境(如吸湿)引起的界面裂纹很常见，会导致器件失效。扫描电镜显微镜可以用来寻找任何裂缝。用户可以看到这些裂缝位于界面的哪个连接处以及它们的扩展方向。由于裂纹与界面强度有关，因此裂纹信息可用于评估对QFN器件研究的实际意义。
扫描电镜显微镜通常在高真空状态下工作。然而，在低真空中，可以观察到未涂覆导电材料的样品。在高真空下，充电效应不可避免。通过在低真空下对样品成像，减少了充电效应，图像更加清晰。最初，为了查看整个样本，用户必须分别拍摄图像并手动合成。然而，利用扫描电镜的全景拍摄，选定区域的多个图像被自动捕获和组合。它标准配置的两轴马达驱动样品台，全自动真空系统，全自动的电子光学调控系统，可以让用户从开始到结束都可以用手指在触摸屏上进行操作。除了全自动功能以外，扫描电镜还提供给更加的用户所有手动调节功能，使得仪器几乎具备大型机所有的调节功能，从而获得更佳的图像品质。
