扫描电镜（ScanningElectronMicroscope,简写为SEM）是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察，因而在设计上突出了景深效果，一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。
工作原理：
扫描电镜电子枪发射出来的电子束，在加速电压的作用下，经过电磁透镜系统汇聚，形成一个细的电子束斑聚焦在样品表面，末级透镜上装有的扫描线圈可控制电子束在样品表面扫描，同时高能电子束作用在样品表面会激发出各种信号，主要包括：二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极荧光和透射电子等，这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度，电子束打到样品上一点，在显像管荧光屏上就出现一个亮点，扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序成比例地转换为视频信号，从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像。
特点
（1）能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
（2）样品的制备过程简单，不用切成薄片。
（3）样品可以在样品室中作三维空间的平移和旋转，因此可以从各种角度对样品进行观察。
（4）景深大，图像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。
（5）图像的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。
（6）电子束对样品的损伤与污染程度较小。
（7）能够进行动态观察（如动态拉伸、压缩、弯曲、升降温等）。
（8）在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号做微区成分及晶体学分析。
